高頻超聲清洗技術(shù)的進(jìn)展

通常情況下，像幾微米的污染物，采用常規(guī)的超聲波清洗器無(wú)法很好地祛除污染物。近年我國(guó)已經(jīng)擁有高頻超聲波清洗技術(shù)，在清洗過(guò)程中，清洗的物質(zhì)不僅僅是氣泡，而是通過(guò)高頻壓力波來(lái)進(jìn)行去污，去污效果100％。高頻超聲清洗技術(shù)已經(jīng)廣泛地運(yùn)用在大規(guī)模的集成電路芯片上，尤其是硅晶片和陶瓷等方面的特種污染物的清洗。

多頻清洗技術(shù)的進(jìn)展

多頻清洗技術(shù)，從本質(zhì)上看，就是在清洗槽中安裝兩種或者三種以上的換能器，通過(guò)多只發(fā)生器推動(dòng)各個(gè)頻率上的換能器。在清洗器工作頻率較高的情況下，液體中的空化強(qiáng)度低而空化密度大，而工作頻率低時(shí)，這種情況則是完全相反的。我們可以充分利用低頻超聲波強(qiáng)度高的特點(diǎn)，對(duì)物體表面進(jìn)行清洗。根據(jù)高頻超聲波空化密度高的特點(diǎn)，可以利用沖擊波貫穿細(xì)縫和深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)，利用多種頻率，有效地克服清洗不徹底的問(wèn)題。

在某種程度上看，只有深入分析超聲波的清洗原理，并對(duì)其進(jìn)行各個(gè)領(lǐng)域方面的研究，對(duì)當(dāng)前超聲波清洗技術(shù)發(fā)展的情況作出深入闡述，才能更好地推動(dòng)超聲波技術(shù)的穩(wěn)健發(fā)展。